Кремния нитрид

КРЕМНИЯ НИТРИД, химическое соединение кремния с азотом, Si₃N₄. Желтоватое твёрдое кристаллическая вещество; до 1400 °С устойчива модификация α-Si₃N₄, выше 1400 °С - β-Si₃N₄ (обе модификации с гексагональной кристаллической решёткой); t_пл 1900 °С (с разложением), плотность 3200 кг/м³; обладает высокой твёрдостью; диэлектрическая проницаемость 6,3-7,1. При нормальных условиях кремния нитрид химически инертен; при кипячении с водой медленно гидролизуется до SiO₂ и NH₃; при нагревании взаимодействует с кислородом, хлором, водородом; реагирует с расплавами щелочей (образуются силикаты и аммиак, например: Si₃N₄ +  6NaOH + 3Н₂О = 3Na₂SiO₃ + 4NH₃), горячей фтороводородной кислотой с образованием фторосиликата аммония и тетрафторида кремния: Si₃N₄+16HF = 2(NH₄)₂[SiF₆] + SiF₄. Кремния нитрид получают действием азота на порошкообразный кремний при температуре выше 1300 °С или по реакции в газовой фазе: 3SiCl₄ + 4NH₃ = Si₃N₄ + 12НСl. Кремния нитрид применяется в микроэлектронике в качестве диэлектрика, для изготовления жаропрочной нитридной керамики.

Лит. смотри при статьях Кремний, Нитриды.

В. П. Зломанов.