Иoнный микроскоп

ИОННЫЙ МИКРОСКОП, ионно-оптический прибор, в котором для получения увеличенных изображений применяется ионный пучок, создаваемый термоионным или газоразрядным ионным источником. По принципу действия ионный микроскоп аналогичен электронному микроскопу. Проходя через объект и испытывая в различных его участках рассеяние и поглощение, ионный пучок фокусируется системой электростатических или магнитных линз и создаёт на экране или фотослое увеличенное изображение объекта.

Ионный  микроскоп обладает более высокой разрешающей способностью по сравнению с электронным микроскопом. Длина волны де Бройля для ионов в (М/m)^1/2 раз меньше, чем для электронов (m - масса электрона, М - масса иона) при одинаковом ускоряющем напряжении. Вследствие этого в ионном микроскопе очень малы эффекты искажения, обусловленные дифракцией частиц, которые ограничивают разрешающую способность электронного микроскопа. Другие преимущества ионного микроскопа - меньшее влияние изменения массы ионов при больших ускоряющих напряжениях и лучшая контрастность изображения. Например, контрастность изображения органических плёнок толщиной 5 нм, вызванная рассеянием ионов, в несколько раз превышает контрастность, вызванную рассеянием электронов.

К недостаткам ионного микроскопа относятся: заметная потеря ионами энергии даже при прохождении их через очень тонкие объекты, что приводит к разрушению объектов; большая хроматическая аберрация; разрушение люминофора экрана ионами и слабое фотографическое действие ионов. Из-за этих недостатков ионный микроскоп не имеет пока широкого применения по сравнению с электронным. К концу 20 века создано лишь несколько опытных образцов ионного микроскопа. Более эффективен ионный микроскоп без электростатических и магнитных линз - ионный проектор.